產(chǎn)品詳情:
主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置??膳c
美國(guó)TEMPRESS、美國(guó)TYAN、美國(guó)THERMCO、荷蘭ASM、英國(guó)BTU、日本TEL等國(guó)外多種型號(hào)
擴(kuò)散爐配套(替代進(jìn)口),選用進(jìn)口材料,制作而成。可用于2-8英寸硅
片的擴(kuò)散工藝。
產(chǎn)品說明:
★優(yōu)質(zhì)加熱絲:KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
★絕熱材料:PMF T2 T3…晶體纖維等
★絕緣子: 高純剛玉
★端口過渡環(huán):氧化鋁氧化鋯等真空成型。
★控溫段:3段、5段、9段控溫
用途:
★半導(dǎo)體擴(kuò)散爐燒結(jié)爐等
★滿足4"-8"圓晶擴(kuò)散爐"
★完整的產(chǎn)品系列
★進(jìn)口替代
★先進(jìn)的材料及制造技術(shù),指標(biāo)優(yōu)異
★使用溫度:室溫-1400℃±0.5℃
★高溫型、普通型、快速升降溫型