擴散爐爐體
主要用作半導(dǎo)體、功率器件、集成電路等行業(yè)中管式熱壁系統(tǒng)的加熱裝置??膳c
美國TEMPRESS、美國TYAN、美國THERMCO、荷蘭ASM、英國BTU、日本TEL等國外多種型號
擴散爐配套(替代進口),選用進口材料,制作而成??捎糜?-8英寸硅
片的擴散工藝。
產(chǎn)品說明:
★優(yōu)質(zhì)加熱絲:KANTHAL‘APM A-1 AF D及HRE…
★絕熱材料:PMF T2 T3…晶體纖維等
★絕緣子: 高純剛玉
★端口過渡環(huán):氧化鋁氧化鋯等真空成型。
★控溫段:3段、5段、9段控溫
用途:
★半導(dǎo)體擴散爐燒結(jié)爐等
★滿足4"-8"圓晶擴散爐"
★完整的產(chǎn)品系列
★進口替代
★先進的材料及制造技術(shù),指標(biāo)優(yōu)異
★使用溫度:室溫-1400℃±0.5℃
★高溫型、普通型、快速升降溫型