不同的真空泵在真空釬焊爐中對(duì)真空度產(chǎn)生的影響
真空范圍
如果真空釬焊爐四種不同的真空度,根據(jù)氣壓范圍決定。在不同的真空度時(shí),1立方厘米空間內(nèi)粒子的數(shù)量。
用于高溫爐的最常用的真空泵以及可達(dá)到的真空范圍。真空釬焊爐的粗真空度常采用單級(jí)旋片泵。二級(jí)旋片泵可接近精真空,但效果不是很好。真空釬焊爐為了達(dá)到精真空度,旋片泵和羅茨真空泵會(huì)結(jié)合使用。真空釬焊爐要達(dá)到高真空度,需要分子泵或者和油擴(kuò)散泵一起使用。
壓力環(huán)境
真空釬焊爐熱處理可在不同的氣氛下進(jìn)行,以下是四種不同的氣氛環(huán)境:
真空:不同的真空泵可達(dá)到不同的真空度。
分壓控制:氣體充入真空釬焊爐爐膛,配合泵組,可調(diào)節(jié)真空釬焊爐爐膛內(nèi)的壓力。因此可實(shí)現(xiàn)低于大氣壓的特定的氣流控制。
可控壓力:氣體通入真空釬焊爐爐膛時(shí),形成微正壓。泄壓閥會(huì)釋放過(guò)多的氣體。
正壓:氣體持續(xù)通入爐膛,最高可到正壓100 bar。
旋片泵
旋片泵是預(yù)抽真空泵。這是最常用的真空泵??蓡蝹€(gè)或二個(gè)一起使用??稍诳諝鈿夥障率褂?,其轉(zhuǎn)速約每分鐘1500轉(zhuǎn)。抽吸腔需要油潤(rùn)滑。徑向運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)輪用于排出空氣,可實(shí)現(xiàn)粗真空。單級(jí)泵僅可達(dá)到最低的精真空。
渦輪分子泵
渦輪分子泵由快速旋轉(zhuǎn)的葉片和定子組成。旋轉(zhuǎn)速度可超過(guò)每分鐘10,000 轉(zhuǎn)。利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽出空氣。結(jié)合預(yù)抽真空泵,真空釬焊爐可達(dá)到較高的真空度或高真空度。真空釬焊爐對(duì)于要達(dá)到高真空或超高真空,渦輪分子泵是目前使用最方便的真空泵。運(yùn)動(dòng)緩慢的重顆?;蚍肿?,相對(duì)于運(yùn)動(dòng)較快的輕顆粒,會(huì)更快被抽出真空釬焊爐爐膛。渦輪分子泵提供了無(wú)碳?xì)浠衔锏恼婵窄h(huán)境。因此,可使真空釬焊爐爐膛獲得高純的真空環(huán)境。
油擴(kuò)散泵
油擴(kuò)散泵內(nèi)部沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件。油擴(kuò)散泵是借著高速油蒸汽流帶走氣體以達(dá)到抽空氣分子目的。在泵的底部,油加熱成蒸汽,以極高速度從泵噴口的縫隙噴出,油冷凝后可被再加熱氣化。油擴(kuò)散泵能快速達(dá)到高真空,雖然有一些油分子會(huì)滯留在真空釬焊爐爐膛內(nèi)。

羅茨泵
羅茨泵適合真空釬焊爐精真空環(huán)境下的熱處理。抽吸腔不需要油潤(rùn)滑。兩個(gè)轉(zhuǎn)輪相對(duì)運(yùn)動(dòng),轉(zhuǎn)輪結(jié)構(gòu)精確,與真空釬焊爐腔體之前幾乎沒(méi)有空隙。需要配合預(yù)抽真空泵一起使用。
這些是真空爐和真空釬焊爐最常用的真空泵。也可根據(jù)用戶(hù)要求,提供特殊的真空系統(tǒng)。例如需要排出反應(yīng)氣氛。這些應(yīng)用要求真空系統(tǒng)不能含有潤(rùn)滑油或者特殊的潤(rùn)滑油。一些特殊真空泵,如隔膜泵,泵,離子吸氣泵,也可提供。
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